產(chǎn) 品 說 明
特點:
1.支持多尺寸晶圓:3\4\5\6\8\12英寸
2.設定參數(shù)均可調整
3.參數(shù)設定修改均可通過觸摸屏實現(xiàn)
4.客戶模式均可自由更改
5.工作盤轉速范圍:0-3000轉/分鐘
性能:
工作盤馬達 交流感應馬達
擺臂馬達 交流伺服馬達
干燥方式 旋轉
清洗方式 二流體清洗
顯示 5英寸觸摸屏,操作/編輯數(shù)據(jù),顯示錯誤信息等
操作鍵 開始/停止,緊急停止
電源 交流220-230伏特 50/60赫茲
壓縮空氣 0.45-0.65 兆帕







